激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化,主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。按照测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量,下面分别介绍激光位移传感器原理的两种测量方式。
其他位移传感器比较
1.电涡流位移传感器
分辨率:电涡流传感器的分辨率最高也可达到0.1um,与激光位移传感器基本相当
线性度:电涡流传感器的线性度一般较低,为量程的1%左右,高端激光位移传感器则一般为0.1%
测量条件:电涡流传感器要求被测体为导体而且非导磁,即不导磁的导体,例如铝、铜等。铁则不行。激光位移传感器则对无论被测体是否导磁、是否导电都能测。
2.电容位移传感器
电容式位移传感器精度非常高,远高于激光位移传感器,但是电容位移传感器的量程很小一般小于1mm,激光位移传感器的量程最大可做到2m。
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