激光位移传感器在半导体丨FPD丨光伏产业应用（二）

作者:admin   发布时间:2018/10/19 9:54:42   浏览次数:2268

1、检测晶圆片位置

        监控晶圆片是否正确存放在晶圆盒里，以便机械手正确抽取晶圆片。

型号：CD5-W2000

2、激光测距传感器PCB板的平整度检测

        CD33检测PCB基板的平整度。

    通过亚像素处理和灵敏度自动调整功能可实现稳定检测，不受基板的不同颜色的影响。

型号：CD33系列

3、激光测距传感器透明薄膜的厚度检测

        CD5-LW25常用于检测透明薄膜的厚度，重复精度：0.02μm。

    通过使用两个位移传感器对射分别检测透明薄膜的两面，从而实现厚度检测。

型号：CD5-LW25

4、激光测距传感器监控液晶玻璃的变形

        CD5-L25检测液晶玻璃的平整度。

    正反射型CD5-L25可以检测透明玻璃厚度，重复精度可达：0.02μm。

 通过高精度测量玻璃表面峰值及谷值的误差，从而判定玻璃是否变形。

型号：CD5-L25+CD5A-N

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