一、检测透明托盘
・可利用超声波稳定检测透明物体。
二、检测溶剂罐的液位
・可利用超声波有效检测溶剂罐的液位。
三、检测薄板表面的松弛现象
・可利用超声波稳定检测薄板表面的松弛现象,从而提升工艺效率。
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